集成电路学院建设6–8英寸CMOS及特色集成电路制造平台，支撑教学科研与产业协同创新

面向集成电路产业发展对工程实践平台、科研验证条件和高水平技术人才培养的需求，集成电路学院持续推进6–8英寸CMOS及特色集成电路制造平台建设，打造集教学实践、科研创新、工艺开发和企业技术验证于一体的开放式集成电路制造平台。

平台围绕集成电路制造关键流程，重点建设薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、热处理、金属互连及测试分析等核心工艺能力，形成覆盖晶圆加工、器件制备、工艺优化和性能评价的完整技术链。同时面向第三代半导体、MEMS、光电子等特色方向，兼容Si、GaAs、InP、GaN、SiC、Ga₂O₃等材料体系的器件工艺开发，为科研团队开展前沿技术研究、学生工程实践训练以及企业联合项目验证提供支撑。

平台将提升集成电路学院教学科研条件和工程创新能力，服务高校科研成果验证、企业技术需求对接和产业协同创新，培养具备先进制造实践能力的高水平集成电路工程技术人才。