
姓名:冯建松
研究方向:III-V族半导体传感芯片、MEMS传感器
个人简介:
冯建松,集成电路学院集成电路工程技术专任教师。物理学博士。主要研究集中在传感芯片领域,包括基于AlGaInP和GaN多量子阱结构的光电探测器、AlGaInP传感芯片和矢量力传感等。发表学术论文11篇,包括仪器仪表领域top期刊MINE和化工类top期刊CEJ各1篇,获中国发明专利1项。有5年洁净间管理和工作经验,包括光刻机和PVD镀膜机的运维管理以及MEMS器件微纳加工工艺的开发。
邮箱:Fengjiansong@szpu.edu.cn