半导体器件微纳加工实训室

半导体器件微纳加工实训室配备两套全链路微纳加工实训平台，可完成电阻、PN结、PMOS等器件的全流程加工，涵盖掺杂、匀胶、光刻等关键工艺步骤。配套多套传感器加工测试设备，支撑“晶体管的工艺实现与测试”、“半导体物理与器件”等课程实践教学。通过真实工艺操作，培养学生微纳加工技术能力与创新思维，并具备工程实践能力。